超声椭圆振动抛光论文

论文摘要微小光学元件的制造技术主要有超精密机械加工和模压成型两种，其中，模压成型作为一种面型复制技术，是一种适合批量生产的低成本、高效率技术。模压所用的模具需要光整加工，以进一...