超声楔形键合论文

超声楔形键合界面连接物理机理研究
论文摘要微电子、光电子系统中芯片级封装超声互连接头界面接合机制问题严重困扰着超声键合设备和技术的创新方向,也直接影响着元器件性能和可靠性。因此,解析超声键合接头界面特征并厘清超...