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王紫光:单晶硅反射镜的超精密磨削工艺论文
本文主要研究内容作者王紫光,康仁科,周平,高尚,董志刚(2019)在《单晶硅反射镜的超精密磨削工艺》一文中研究指出:为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋...