超硬多层薄膜论文

脉冲偏压电弧离子镀沉积超硬多层薄膜
论文摘要脉冲偏压电弧离子镀是近十几年来发展起来的一种新兴薄膜沉积技术,与传统的电弧离子镀技术相比,它具有沉积温度低、残余应力小、晶粒细化及颗粒净化等优点,为沉积性能优异的多层薄...