尘埃充电论文

尘埃粒子在双频CCP鞘层中的特性研究
论文摘要近几年来,在等离子体刻蚀工艺中,对放有基片的极板上同时施加高频和低频两个射频偏压的双频容性耦合式放电的刻蚀工艺越来越受到关注。与单频容性耦合放电相比,双频容性耦合放电等...