衬底损耗论文

氮化硅薄膜转移技术与多孔硅基一维光子晶体制备研究
论文摘要本项目探索一种利用多孔硅作为分离层实现功能薄膜或由此构成的器件的衬底转移的技术并探索该技术在三维集成以及射频电路中的应用,并同时探索了多孔硅基一维光子晶体的制备及特性研...
射频集成电路片上电感的分析与优化设计
论文题目:射频集成电路片上电感的分析与优化设计论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:菅洪彦导师:闵昊关键词:片上电感,品质因数,自谐振频率,平面螺旋电感,叠层电...