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热丝化学气相沉积制备超薄纳米金刚石膜研究
论文摘要纳米金刚石膜(NDF)不但具有多晶金刚石膜优异的物理化学特性,而且由于它由纳米金刚石晶粒组成,因而容易生成表面光滑、均匀、连续的超薄膜,无须抛光处理即可用作机械和光学器...