沉积参数论文

论文题目:硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究论文类型:博士论文论文专业:光学作者:王玉新导师:冯克成关键词:射频磁控溅射,硼碳氮薄膜,沉积参数,透过率文献来源:长春理工大学发表...