沉积负偏压论文

铝合金基体类石墨镀层的制备及性能研究
论文摘要本文采用非平衡磁控溅射离子镀技术在铝合金表面制备了具有减摩自润滑性能的类石墨镀层（Graphite-LikeCarbon简称GLC）。通过改变等离子清洗工艺参数、沉积负...