沉积工艺论文

新型MPCVD装置制备大面积纳米金刚石薄膜的研究
论文摘要纳米金刚石（Nano-crystallinediamond,NCD）薄膜具有低的表面粗糙度、低的摩擦系数、高的弹性模量和良好的场发射性能等一系列优异性能,是一种十分理想...
碳/羟基磷灰石复合材料的制备及应用研究
论文摘要碳/碳（C/C）复合材料兼有功能和结构特性，综合性能非常优越，作为生物医用材料，具有广阔的使用价值和应用前景，是国际新型材料领域重点发展的一种新型材料。但是，C/C复合...
激光高反射膜的研究
论文摘要本论文将讨论中心波长808nm的激光高反射膜，主要叙述了膜系的设计、膜料的选择、镀制前后的辅助工艺以及优化镀制工艺参数等方面的内容。通过对以上内容的研究和分析，设计出λ...
高气压直流辉光放电及碳纳米管的制备
论文摘要高气压下的直流辉光放电的放电特性对碳纳米管的沉积有很大影响。通过研究电极间距和电压的关系、放电的伏安特性,电极间距对等离子体状态的影响,建立了高气压直流辉光等离子体CV...
许烁烁：氧化铝钝化膜沉积工艺研究论文
本文主要研究内容作者许烁烁,陈特超,禹庆荣,刘舟（2019）在《氧化铝钝化膜沉积工艺研究》一文中研究指出：采用平板式等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备,开展氧化铝（Al...