尺度极限论文

平板式微热光电系统能量转换过程的研究
论文摘要在微加工技术强有力的推动下,微型机械和机电产品的研发获得持续的突破,但其动力供给部分却未能获得大的进展,致使完整微机电系统过大过重或者不能长时间工作,这也成为MEMS发...