尺蠖运动机理论文

尺蠖型压电驱动器基础理论与试验研究
论文摘要本文提出了以压电叠堆为动力转换元件，基于尺蠖运动机理实现超精密定位的新型驱动器方案。系统分析了压电叠堆与机械柔性机构的作用机理和直角柔性铰链的空间力学模型，为驱动器优化...