迟滞曲线论文

论文摘要由于迟滞现象的存在以及Al2O3薄膜自身特性的影响使得直流反应溅射制备Al2O3薄膜的工艺过程不稳定并且难以控制。迟滞曲线对于研究靶的溅射状态和镀膜工作点的选取具有重要...