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基于PVDF测头的三维纳米测量与定位实验研究
论文摘要纳米技术的不断发展,对精密测量与定位技术提出了更高的要求,因此纳米测量和定位技术成为当前精密工程领域的研究热点之一。文中提出了一种基于聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜构成的轻...