垂直脉冲激光沉积法论文

硅纳米晶薄膜制备与发光性能研究
论文摘要硅是具有良好半导体特性的材料，是微电子的核心材料之一。可硅材料不是好的发光材料。只有当硅纳米微粒的尺寸小到一定值时，才可在一定波长的光激发下发光。硅纳米晶薄膜发光材料在...