垂直耦合论文

硅基微腔器件的理论与测试研究
论文摘要为了延续摩尔定律，世界各国都致力于开发高速海量低成本的集成光电器件。采用硅光子学技术实现片间甚至片上光互连成为该领域的研究热点。由于硅材料是间接带隙材料，难于实现片上光...