垂直扫描干涉法论文

微纳结构形貌干涉显微测量关键技术研究
论文摘要干涉显微法是一种基于光学干涉原理的表面形貌测量方法,具有测量速度快、精度高、非接触的优点,主要用于MEMS等基于IC平面工艺制造的微纳结构表面形貌及其运动的测量。本文通...