初始反应机理论文

原子层淀积高介电常数栅介质研究
论文摘要随着微电子技术的飞速发展，作为硅基集成电路核心器件的金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）的特征尺寸一直按照摩尔定律不断地缩小。然而，当传统栅介质SiO2的厚度减...