磁场非平衡度论文

磁场非平衡度对磁控溅射Cr镀层沉积过程的影响
论文摘要本文通过改变矩形平面磁控管内心部磁铁的磁感应强度,得到了七组非平衡程度各不相同的磁场组态,并采用高斯仪测量了各组磁控管表面的磁感应强度值,充分了解了各组磁控管靶表面处磁...