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纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究
论文摘要随着科学技术的飞速发展,在航空航天、环境监测、工业生产、医学、军事等领域,经常需要对压力、温度、磁场、湿度、加速度和流速等多个参数进行同时测量。在不同应用领域,针对环境...