磁过滤论文

结合磁过滤阴极弧等离子体沉积技术制备高质量半导体薄膜的研究
论文摘要本论文主要由两部分组成。第一部分主要是试验设备的建立,在这一部分中,首先介绍了等离子体的概念及其应用,通过对实验设备的改进,例如改变引弧针材料,加入宏观离子挡板等,使其...