磁过滤阴极弧沉积论文

有机物修饰Si衬底上类金刚石膜的制备及摩擦性能研究
论文摘要简要介绍了类金刚石薄膜（DLC）的分类、制备、性能及应用；叙述了有关磁过滤阴极弧沉积（FCVA）和微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积（MW-ECRCVD）两种制备方法...