磁过滤阴极弧论文

不锈钢表面阴极弧制备TiN薄膜及抗磨/耐锡腐蚀性能研究
论文摘要由于无铅钎料广泛用于波峰焊,导致了许多波峰焊元件严重的沾锡及锡腐蚀现象。使用商不得不面临的维修频率高和波峰焊元件的寿命缩短等问题。本文通过磁过滤阴极弧沉积TiN薄膜,描...
类金刚石碳膜制备工艺及掺杂性能研究
论文摘要本文基于产业化应用和改善类金刚石膜与基体结合力为目的,在大型工业用等离子体—离子束增强沉积系统中,获得了DLC膜和梯度复合DLC膜。采用了闭合场非平衡磁控溅射和90°弯...