磁控反应共溅射论文

论文摘要ZAO薄膜由于自身优良的光学、电学及气敏特性而备受人们青睐。首先其原材料在自然界中的储量丰富、易于制造、成本低廉、无毒、热稳定性和化学稳定性好。因此,具有广阔的应用前景...