磁控反应溅射论文

SnO2薄膜气体传感器制备及其性能研究
论文摘要SnO2是一种宽带隙n型半导体材料,室温下能隙宽度为3.67eV,有良好的化学稳定性、光学各向异性等特点。SnO2薄膜由于具有对可见光透光性好、紫外吸收系数大、电阻率低...
薄膜体声波谐振器（FBAR）技术的若干问题研究
论文摘要集成化、微型化是无线射频终端的发展趋势,薄膜体声波谐振器(FBAR)作为目前唯一有望集成的射频滤波器技术,正成为国内外研究的热点。与传统的介质滤波器和声表滤波器(SAW...