磁控管非平衡度论文

磁控管非平衡度及偏压对Cr膜生长和组织性能的影响研究
论文摘要本文采用直流磁控溅射离子镀设备于单靶溅射条件下在单晶Si基底上制备了Cr镀层。采用SEM、表面轮廓测试仪及XRD观察了不同磁控管非平衡度状态下Cr镀层生长过程中形貌演化...