![溅射法制备β-FeSi2薄膜及其性能的研究]()
论文摘要利用磁控溅射法在硅和石英上沉积了不同厚度比的Fe/Si多层膜,通过退火制备了β-FeSi2薄膜。退火后发现硅衬底上结构为Fe（20nm）/Si（64nm）,Fe（2nm...
![太阳电池用SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜的制备与性能研究]()
论文摘要本文在全面总结了目前太阳能电池材料的研究现状和其未来发展趋势,系统研究了Si基薄膜材料各自特性的基础上,用超高真空磁控溅射仪制备了SiN/a-Si/poly-Si/Ni...
![反应磁控溅射制备组分可控的B-C-N薄膜]()
论文摘要采用射频磁控溅射方法,以硼和石墨为溅射靶材,通过调控工作气压、基片温度、溅射功率、CH4/N2/Ar气体流量比一系列实验参数,在Si（100）基片上制备不同组分的非晶B...
![溅射法制备抗菌丝织物及其性能研究]()
论文摘要本文介绍了对丝织物进行抗菌整理的原因和现状及纳米银的性质和应用现状;分析了目前国内外在抗菌织物研究方面的主要方法,针对目前已有的制备纳米银抗菌织物方法的缺点,提出采用绿...
![磁控溅射法沉积硅薄膜的研究]()
论文摘要太阳电池是一个朝阳产业,也是现在发展正非常火热的一个行业。非晶硅、微晶硅薄膜太阳电池在硅系太阳电池中具有很大的性价比优势。本文使用磁控溅射法沉积硅薄膜,通过优化薄膜沉积...
![磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜及其特性研究]()
论文摘要掺铝氧化锌（AZO）薄膜是一种性能优良的透明导电薄膜,它的优点主要有:在可见光范围内有较高的透射率,较低的电阻率,无毒性,易刻蚀,化学性能稳定,材料来源丰富、价格便宜等...
![磁控溅射制备SiC薄膜及其性能研究]()
论文摘要SiC具有耐高温、耐磨损、高辐射率、化学稳定性好等一系列优异的性能,是制备热防护系统表面涂层的首选材料。采用化学气相沉积、电子束蒸发等常用方法制备SiC薄膜,存在沉积温...
![ZnO薄膜的制备及光电特性研究]()
论文摘要采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备了高度择优取向的ZnO:Al薄膜。结果表明:制备的ZnO:Al薄膜为六角纤锌矿结构,且具有明显的c轴择优取向;Al离子的掺杂浓度和退火温...
![纳米铜薄膜制备及其激光冲击改性基础研究]()
论文摘要本文从激光冲击强化提高金属表层综合机械性能的原理出发,对纳米Cu薄膜进行了激光冲击强化的试验研究,并对激光冲击处理后的Cu薄膜的力学及电学性能进行了测试分析,主要取得了...
![高能离子溅射镀膜机中辅助阳极性能研究]()
论文摘要溅射镀膜已经在工业生产中大规模的运用,等离子体的分布在磁控溅射镀膜过程中起着至关重要的作用,其中正离子的能量,离子的浓度等特性对成膜质量、靶表面刻蚀区的均匀程度以及靶材...
![Si基稀磁半导体的X射线吸收谱学研究]()
论文摘要本论文主要利用同步辐射X射线吸收精细结构谱学（XAFS）技术,结合X射线衍射（XRD）和拉曼光谱等实验方法联合研究了磁控溅射共溅射方法和分子束外延方法制备的Si基稀磁半...
![WCxNy、NbCxNy、TiC/α-C：H纳米复合薄膜材料的微观结构及力学性能研究]()
论文摘要在过去几十年中,超硬薄膜材料由于在工业方面的广泛运用而得到迅速发展。对薄膜材料的研究也逐渐深入,从最初的一元金刚石薄膜,到二元硬质氮化物/碳化物,再到三元Me-X-N（...
![单层纳米晶颗粒膜的可控性制备与电荷存储特性研究]()
论文摘要现如今,便携式移动电子产品在人们的日常生活中应用得越来越广泛,在这些产品内部,闪存发挥着重要的作用。未来闪存技术的发展要求可以概括为:储存容量更大,读写速度更快,数据安...
![Mn掺杂Ⅳ族稀磁半导体的X射线吸收谱学研究]()
论文摘要本论文主要利用同步辐射X射线吸收精细结构谱学（XAFS）技术,结合X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）和拉曼光谱等实验方法联合研究了磁控溅射共溅射方法制备的Mn...
![氧化锡薄膜电极的制备及其在微型薄膜锂离子电池中的应用]()
论文摘要随着科技发展和人类社会的进步,微型设备不断进入人类的生活领域,目前很多微电子设备需要可集成的可低电流输出的微型电源,因此,电源也必须完成小型化、微型化的革命,微电池研究...
![反应溅射制备纳米ZnO功能纺织材料及其性能表征]()
论文摘要纳米材料研究是目前材料科学研究的一个热点,将纳米技术用于纺织材料研究开发新型功能化纳米纺织材料又是材料研究领域中的最新热点。纺织材料也跳出服用圈子成为装饰用、产业用纺织...
![非晶态碳膜和碳氮薄膜的结构与性质]()
论文摘要非晶态碳薄膜和碳氮薄膜因其各种优良性质,如高硬度、耐磨损、可调光学带隙、大范围变化的导电能力等引起了人们的研究兴趣。但是目前有关碳的各种杂化态、碳薄膜中的无序化程度以及...
![嵌入式薄膜热电偶测温刀具传感器的研制]()
论文摘要本课题属于切削温度测试研究领域,课题来源于辽宁省自然科学基金项目,项目编号（20062143）和辽宁省教育厅高校科技计划,项目编号（05L023）。本文主要研究瞬态测温...
![磁控溅射法制备YSZ电解质薄膜及其在SOFC中的应用]()
论文摘要固体氧化物燃料电池（SOFC）是一种全固态、高效的能量转换装置,由于自身特有的优点被认为是21世纪最有效的发电系统之一。目前研究的重点是开发可在中低温（600℃800℃...
![硼碳氮薄膜的磁控溅射法制备及其结构研究]()
论文摘要本论文的主要工作是采用射频磁控溅射制备硼碳氮（BCN）薄膜,研究了各实验参数对硼碳氮薄膜的生长行为和结构的影响,对硼碳氮薄膜制备工艺进行了系统的、深入的研究。采用磁控溅...
