磁控溅射论文

论文摘要多层膜技术极大地提高了光学元件对极紫外光和软X射线的反射率，有力地促进了该波段光学系统的发展，已在天文学、显微成像、光刻、同步辐射应用以及X射线激光等领域得到了广泛的应...

论文摘要四方钨青铜结构的铌酸锶钡（StrontiumBariumNiobiumSBN）以其较大的线性电光系数、较高的光折变性能灵敏度和热释电系数广泛应用于电光调制器、全息成像存...

论文摘要随着第三代通讯技术的发展,声表面波（SAW）器件的使用频率不断提高,从最初的几MHz发展到现在的几GHz。高频应用系统的不断发展显著增大了高频声表面波器件的市场需求。金...

论文摘要本文首次应用射频磁控溅射系统制备了环境半导体Ca2Si薄膜，并用X射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜、椭圆偏振光谱仪和四探针仪研究了不同退火条件下薄膜的结构和特性。应用第...

论文摘要等离子体增强化学气相沉积方法（PECVD）是制备薄膜材料的几种方法中技术最为成熟、操作较为简单的一种，并且可以制备均匀性高的大面积薄膜。但是采用PECVD方法沉积优质多...

论文摘要二氧化钛薄膜是一种重要的光学功能薄膜，它有着独特的光学、电学等物理性能及优良的化学稳定性，在新型太阳能电池、微电子工业、光学器件和各种传感器等领域具有广阔的应用前景。本...

论文摘要本篇论文讨论的是有关玻璃材料表面改性的问题。在对玻璃、玻璃深加工、深加工的主要物理方法以及磁控溅射沉积方法作了简单介绍后，对玻璃镀膜膜层的主要品质和特性：针孔、结合力、...

论文摘要气敏传感器作为新型敏感元件传感器,今年来有了很大的发展。薄膜型气敏材料以其独特的微观结构和物理、化学性能,优良的表面特性主导了气敏技术的发展方向,对薄膜型气敏材料的掺杂...

论文摘要ZnO是一种直接带隙半导体材料,属于六方纤锌矿结构。由于（002）晶面的表面自由能最低,晶体有C轴择优取向的特性。作为一种直接带隙宽禁带半导体材料,ZnO最具潜力的应用...

论文摘要本文介绍了半导体气敏元件在国内外的发展状况，综述了金属氧化物半导体气敏元件的掺杂技术。列举了半导体气敏元件的掺杂以及掺杂对气敏元件灵敏度和选择性的影响作用。SnO2基薄...

论文摘要为了实现间接带隙材料一硅的高效发光，人们在材料工程方面探索具有直接带隙的半导体材料。β-FeSi2是少有的几种半导体型金属硅化物，它是一种环境友好的半导体材料，具有0....

论文摘要钽钪酸铅Pb（Sc1/2Ta1/2）O3（简称PST）是一种典型钙钛矿结构复合材料。PST铁电薄膜是一种性能优良的热释电材料,与其他材料相比,具有较高的热释电系数λ、高...

论文摘要本研究工作采用两种方法制备氮掺杂二氧化钛薄膜，并且对氮掺杂和纯TiO2薄膜的性能进行对比研究。1、采用陶瓷TiO2靶，通过射频磁控溅射制备TiO2薄膜，然后对制备的薄膜...

论文摘要In2O3基透明导电薄膜由于其独特的光学和电学性能：可见光区域的高透过、红外区域的高反射以及低的电阻率，而在光电器件特别是平板显示方面具有极其广阔的市场，因此，开展透明...

论文摘要采用射频磁控溅射法制备了二氧化钛（TiO2）纳米薄膜，厚度约为150nm。制备出的薄膜在大气环境下进行了等时（0．5h）变温（200℃，400℃，600℃，800℃，1...

论文摘要本文以金属表面低摩擦和高耐磨性的复合薄膜材料为应用背景,对MoSx/MoSx-Mo纳米多层复合薄膜的沉积制备工艺、组织结构及摩擦磨损性能进行了研究。论文主要探讨了溅射气...

论文摘要ZnO是一种新型的Ⅱ—Ⅵ族宽禁带化合物半导体材料,由于ZnO具有很高的激子束缚能（室温下为60meV）,激子增益可达到300cm-1,是一种可能的短波长发光器件材料,在...

论文摘要镍钛合金具有良好的生物相容性,在心血管系统、泌尿系统、肝胆系统、气管狭窄或软化塌陷、以及生殖系统和眼科都有广泛的应用,但镍钛合金在硬度、耐腐、以及镍离子溶出等方面还有很...

论文摘要在心血管疾病的临床治疗中，生物材料与人工植入器械被广泛使用。然而，目前临床所用材料都存在不同程度的生物相容性不足的致命弱点，迫切需要研究与开发性能更优异的新材料与植入器...

论文摘要非平衡磁控溅射沉积技术（UnbalancedMagnetronSputtering,UMS）目前得到广泛关注,能够得到比较高的离子/原子到达比（Ion-to-atomA...