磁流体陀螺仪论文

MEMS技术的磁流体陀螺仪关键技术的研究
论文摘要陀螺仪是一种测量运动体角速度的传感器,传统的陀螺仪存在体积大、重量重、结构复杂、对工艺结构的要求高、精度受到了很多方面的制约,使用起来很不方便。随着微机电系统技术的发展...