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Si_xN_y应用在硬盘磁头保护膜上的研究
论文摘要当DLC(类金刚石)薄膜的厚度低于2nm时,传统的DLC/Si磁头保护膜已经起不到保护作用,而降低磁头保护膜的厚度可以提高硬盘存储密度,所以探索开发新的、性能更加优异的...