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磁控溅射Ni-Mn-Ga合金薄膜的相变行为与性能
论文摘要本文利用磁控溅射方法制备了Ni-Mn-Ga磁性形状记忆合金薄膜,研究了溅射工艺对薄膜表面形貌、化学成分的影响规律,揭示了影响薄膜化学成分的物理机制;采用示差扫描热分析、...