磁遥控驱动论文

聚合物微机械的飞秒激光加工及驱动研究
论文摘要“微机械”的概念最早提出于上个世纪六十年代,以器件的特征尺寸或操控尺寸在微米量级为特征。直到八十年代,第一台静电驱动微马达被成功研制,微机械开始快速发展起来。迄今为止,...