磁针尖论文

高灵敏微悬臂梁探针设计制作及特性研究
论文摘要微悬臂梁作为微机电系统（Microelectromechanicalsystem,MEMS）中常用的微传感器,被广泛应用于力检测、质量检测、加速度检测、气压检测、化学生...