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应用于精密定位的超磁致伸缩执行器的控制研究
论文摘要精密工程技术在众多领域的快速发展和应用,促进了精密定位技术的发展,并对精密定位技术提出了更高的要求。微位移执行器作为精密定位系统的关键部分,其重要性自然不言而喻。超磁致...