脆塑转变论文

玻璃微铣削加工特性的研究
论文摘要脆性材料由于其具有机械强度高、化学性能好、耐高温、耐腐蚀、热膨胀系数低等特点,现在广泛应用于航天、通信、生物医学等高技术行业。但是由于其脆性大、硬度高、断裂韧性低,属于...
冰冻固结磨料化学机械抛光单晶硅片的基础研究
论文摘要随着超大规模集成电路（ULSI）的发展,芯片的集成度越来越高,因此,对于其基底材料硅片的加工要求也越来越高,不仅要求获得纳米级面型精度和亚纳米级表面粗糙度,而且还要保证...
刘冰：单晶硅脆塑转变临界厚度的原位实验论文
本文主要研究内容作者刘冰,徐宗伟,李蕊,何忠杜（2019）在《单晶硅脆塑转变临界厚度的原位实验》一文中研究指出：为提高单晶硅纳米切削表面质量的同时,不影响加工效率,以扫描电子显...