粗精控制论文

光刻机粗精耦合及同步控制算法研究
论文摘要光刻技术是大规模集成电路制造技术和微光学、微机械技术的先导和基础;它决定了集成电路的集成度;而光刻机粗精耦合控制系统是实现精确定位的基础。本文针对粗精组合结构的精密工作...