朗谬尔探针论文

直流脉冲等离子体时间演化过程的研究
论文摘要直流脉冲等离子体在表面处理如离子渗氮、薄膜沉积、材料改性等方面应用十分广泛。在表面处理过程中,等离子体参数是影响处理效果的重要因素,因此考察脉冲等离子体各参数随时间的变...
磁控溅射等离子体靶粒子输运过程研究
论文摘要磁控溅射是一个涉及粒子的碰撞、分解、激发、喇离及其在电磁场中非线性输运等的复杂过程,通过建立前驱物粒子光谱和薄膜成分之间的定量关系,把薄膜的生长过程与粒子的输运过程相联...