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射频SiH4/C2H4/Ar放电产生尘埃等离子体及其诊断研究
论文摘要本文在射频容性耦合等离子体放电基础上,采用实验观测,探针和光谱诊断等研究方法,对尘埃等离子体进行了多方面的研究。本文工作主要包括以下一些内容:第一章介绍了尘埃等离子体的...