大尺寸高质量金刚石厚膜论文

大尺寸高质量金刚石厚膜制备及氮掺杂对金刚石膜生长的影响研究
论文摘要本文采用EA-CVD方法沉积金刚石膜,系统地研究了甲烷流量和热丝排布等工艺参数对金刚石膜生长特性的影响,金刚石膜中的热应力及裂纹控制,建立了制备大尺寸高质量金刚石厚膜的...