大尺寸硅片超精密磨床论文

论文摘要集成电路是现代信息产业和信息社会的基础，全球90%以上的集成电路衬底材料都采用硅片。随着集成电路制造技术的飞速发展，为了增大硅片的产量，降低单位制造成本，硅片趋于大尺寸...