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Si基GaN LED可靠性研究
论文摘要近几年来,在硅(Si)衬底上生长GaN材料已经取得了很大的进展,并已制作出功率型的Si基GaN蓝绿光发光二极管(LED)。众所周知,器件的可靠性直接关系到技术的商业价值...