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部分绝缘键合SOI新结构及应用基础研究
论文摘要基于SOI相关基础理论和技术实践,源自光机电新器件开发需求,在综合Si良好导热导电与SOI优良隔离特性基础上,本文提出了一种兼具硅和SOI优势的新型部分绝缘键合SOI结...