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苏卫中:微波等离子体激发用大功率微波模式转换器论文
本文主要研究内容作者苏卫中,禹庆荣,杨彬,陈国钦(2019)在《微波等离子体激发用大功率微波模式转换器》一文中研究指出:设计了大功率微波模式转换器,并采用两种工艺加工,分别利用...