大角度论文

100nm大角度离子注入机控制系统研究
论文摘要离子注入机是半导体制造的关键工艺设备,其中的控制系统研究是离子注入机研制的关键内容之一。本项目开展100nm大角度离子注入机的研究工作,以满足国内大生产线对离子注入工艺...
袁菁：基于亚波长结构的宽带太赫兹吸收器研究论文
本文主要研究内容作者袁菁（2019）在《基于亚波长结构的宽带太赫兹吸收器研究》一文中研究指出：亚波长结构是一种通过人为设计结构尺寸或阵列分布自由调控电磁波的特殊结构,具备自然材...
刘海涛：软弱围岩中大角度反坡隧道排水施工技术论文
本文主要研究内容作者刘海涛,李信（2019）在《软弱围岩中大角度反坡隧道排水施工技术》一文中研究指出：在泥岩等地质条件不好、大角度反坡隧道施工过程中做好排水是施工的重点和难点。...