大口径平面镜论文

大口径平面反射镜检测方法研究
论文摘要随着科学技术的发展,大口径光学系统在各个领域得到越来越广泛的应用。大口径平面反射镜不仅在光学系统检测中占有重要地位,经常作为标准反射镜使用;而且在“大型高精度衍射光栅刻...