大面积厚膜论文

热丝CVD大面积金刚石厚膜的制备研究
论文摘要人造金刚石膜在生产中有着非常巨大的使用价值，不论在机械、热学、光学或半导体以及声学和现代军事等方面都能发挥其强劲的作用。热丝法CVD大面积金刚石厚膜是在CVD金刚石薄膜...