氮化法论文

论文题目:氮化锌粉末和薄膜的制备及特性研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:宗福建导师:马洪磊,薛成山关键词:氮化锌粉末,氮化锌薄膜,氮化法,磁控溅射法,结...