氮化锆论文

ZrN_x快离子导体薄膜的制备及其Cr掺杂性能研究
论文摘要全固态电致变色器件的实用化研究一直是该领域的研究热点。电致变色器件全固态化的关键是采用合适的快离子导体（有时亦称固体电解质）作为器件的离子传导层。目前,用于电致变色器件...
阴极真空电弧技术制备氮化锆、氧化锆薄膜的研究
论文摘要本文主要研究应用阴极真空电弧沉积技术在硅片上沉积纳米晶氮化锆、在硅片和石英玻璃上沉积氧化锆薄膜。在研究中,主要探讨分别改变反应气体流量和基底偏压对氮化钛、氮化锆薄膜的组...