氮化硅薄膜论文

大马士革铜互连工艺中氮化硅薄膜层球状缺陷形成机制的研究
论文摘要随着集成电路向着高密度化和高性能化方向发展，电路特征尺寸不断缩小，互连层数不断上升．由于铜的电阻率较低，抗电迁移和应力迁移能力强，且其镶嵌制造工艺的兼容性好、成本低，因...
纳米硅/氮化硅薄膜微结构特性研究
论文摘要本工作采用螺旋波增强等离子体化学气相沉积（HWP-CVD）技术制备了不同结构的纳米硅/氮化硅镶嵌复合薄膜,并主要关注热退火处理对镶嵌于氮化硅中纳米硅微观结构调整的研究。...
太阳电池上氮化硅减反射膜性能的研究
论文摘要太阳能的应用是解决能源与环境问题的有效途径。多晶硅太阳电池是未来最有发展潜力的太阳电池之一。氮化硅薄膜的应用是进一步提高多晶硅太阳电池的转化效率,降低生产成本的重要手段...
纳米Si-SiNX复合薄膜发光与非线性光学性质的研究
论文摘要半导体硅基材料是电子技术、信息技术领域最为重要的基础材料之一。近年来,研究和开发以硅为基质材料的光子器件乃至实现光电集成（OEIC）已成为半导体光电子学领域需攻克的重大...