氮化硅刻蚀论文

窄带红外光源设计与制备
论文摘要近年来，随着微机电系统（MEMS）技术的快速发展和进步，传感元器件发展也出现了小型化、低功率、低成本的趋势。MEMS红外光源应运而生，且成为红外气体传感器技术研究的重点...